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微纳-21-匀胶机
2013-12-17| 编辑: | 【

精密匀胶机

仪器型号:美国Smart Coater 100

购置年月:20126

仪器简介:

SmartCoater®精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的晶圆底物旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用于track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性。

应用范围:

   广泛的应用于半导体生产,MEMS生产,薄膜技术,传感器以及高级封装技术之中。

技术参数:

1. 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

2. 旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1

3. 转动速度:0-10,000rpm(可选更高速)

4. 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

5. 马达旋涂转速稳定性能误差<±1%

6. 转速调节精度<1rpm,重复性<1rpm

7. 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec

8. 支持wafer尺寸1cm-200mm

9. 旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

10. 设备尺寸32cm W×44cm D×30cm H

 
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